天马微电子 TFT-LCD 精密设备搬入项目

天马微电子作为国内领先的显示面板制造商，持续扩大 TFT-LCD 产线投资。本次项目承接了其新建产线全部核心精密设备的搬入任务，设备总体积超过4万立方米，涵盖 TFT-LCD 行业所有最精密的核心装备，对搬运精度、环境控制和项目管理均提出了极高要求。

项目关键参数总览

以下为本项目的核心数据与规格指标，直观呈现项目规模与技术难度：

• 设备总体积：超过 40,000 立方米
• 核心设备类型：曝光机、化学气相沉积机（CVD）、磁控溅射成膜机、蒸镀机、真空贴合机
• 设备等级：TFT-LCD 行业全部最精密核心设备
• 项目组织：2月份起成立专项作业项目部
• 交付标准：安全、优质、按时完成
• 客户评价：受到天马微电子高度赞扬

核心设备逐项解读

曝光机

曝光机是 TFT-LCD 光刻工艺的核心设备，对振动与粉尘极为敏感。搬入过程中需严格控制运输加速度与定位精度，确保设备光学系统不受损伤。项目团队针对曝光机制定了专项搬运方案，采用气垫减震运输与激光定位安装，全程由专业技术人员监控。

化学气相沉积机（CVD）与磁控溅射成膜机

这两类设备承担着薄膜沉积工艺，内部包含大量精密真空组件与温控模块。搬入前需对设备腔体进行密封保护，运输途中严格监控温湿度变化。项目部为每台设备建立独立档案，从拆卸、包装、运输到就位实行全流程可追溯管理。

蒸镀机

蒸镀机是 OLED 与高端 TFT-LCD 制程中精度要求最高的设备之一，其蒸发源组件对微振动极为敏感。项目团队在搬入前与设备厂商深度对接，获取详细的搬运限制参数，并据此定制了专用搬运工装与就位方案。

真空贴合机

真空贴合机用于面板的精密贴合工艺，设备自重大且对水平度要求极高。搬入过程中采用液压平台车与精密调平装置，确保设备在就位后各项指标一次性达标。

项目管理与执行

自2月份项目启动以来，明通集团成立了专项作业项目部，按每种设备的特性进行周密计划与精心组织。项目部建立了三级管控体系：方案评审阶段逐项确认搬运技术参数，执行阶段严格控制每道工序的操作规范，验收阶段对照设备厂商标准逐一检测。

通过科学的项目管理与专业的技术执行，全部设备安全、优质、按时搬入完成，受到天马微电子的高度赞扬。天马集团正在不断扩大投资、新建 TFT-LCD 项目，双方在精密设备搬入领域拥有广阔的合作空间。